產品概述
工業直流式探針測試儀簡介:
儀器適用于半導體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對導體、半導體、類半導體材料的導電性能的測試。
BEST-300C 型材料電導率測試儀是運用四探針測量原理測試試導體、半導體材料電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。該儀器設計符合單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準。
儀器成套組成:由主機、選配的四探針探頭和測試臺等三部分組成。
主機主要由數控恒流源,高分辨率 ADC、嵌入式單片機系統組成。自動/手動量程可選;電阻率、方阻、電阻測試類別快捷切換:儀器所有參數設定、功能轉換全部采用數字化鍵盤輸入,簡便可靠;具有零位、滿度自校功能;測試結果由數字表頭直接顯示。本測試儀采用可充電鋰電池供電,適合手持式變動場合操作使用!
工業直流式探針測試儀參數特點:
1. 便于查看的顯示/直觀的操作性:高亮度、超清晰4.3寸彩色LCD顯示;操作易學,直觀使用;
2. 基本設置操作簡單,方阻、電阻、電阻率、電導率和分選結果;多種參數同時顯示。
3. 精度高:電阻基本準確度: 0.05%;方阻基本準確度:3%;電阻率基本準確度:3%
4. 整機測量最大相對誤差:≤±3%;整機測量標準不確定度:≤±3%
5. 四位半顯示讀數;八量程自動或手動測試;
6. 測量范圍寬: 電阻:10-4Ω~105Ω ;方阻:10-4Ω/□~105Ω/□;
7. 正反向電流源修正測量電阻誤差
8. 恒流源:電流量程分為: 1uA、10uA、100uA、1mA、10mA 、100mA六檔;儀器配有恒流源開關可有效保護被測件,即先讓探針頭壓觸在被測材料上,后開恒流源開關,避免接觸瞬間打火。為了提高工作效率,如探針帶電壓觸單晶對材料及測量并無影響時,恒流源開關可一直處于開的狀態。
9. 可配合多種探頭進行測試;也可配合多種測試臺進行測試。
10. 校正功能:可手動或自動選擇測試量程 全量程自動清零。
11. 厚度可預設,自動修正樣品的電阻率,無需查表即可計算出電阻率。
12. 自動進行電流換向,并進行正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測量,顯示平均值.測薄片時,可自動進行厚度修正。
13. 雙電測測試模式,測量精度高、穩定性好.
14. 具備溫度補償功能,修正被測材料溫漂帶來的測試結果偏差。
15. 比較器判斷燈直接顯示,勿需查看屏幕,作業效率得以提高。
3檔分選功能:超上限,合格,超下限,可對被測件進行HI/LOW判斷,可直接在LCD使用標志顯示;也可通過USB接口、RS232接口輸出更為詳細的分選結果。
16. 測試模式:可連接電腦測試、也可不連接電腦單機測試。
17. 豐富的接口,Handler接口、RS232接口、USB HOST、USB DEVICE。實現遠程控制。U盤可記錄測試數據
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